NiTi合金薄膜厚度对相变温度影响的X射线光电子能谱分析
X-ray photoelectron spectroscopy analysis of the effect of thickness on the transformation temperature of NiTi alloy thin films
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文摘
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采用X射线衍射和X射线光电子能谱实验手段对不同厚度的NiTi薄膜相变温度的变化进行了分析.结果表明在相同衬底温度和退火条件下,3 μm厚度的薄膜晶化温度高于18 μm厚度的薄膜.衬底温度越高,薄膜越易晶化,退火后薄膜奥氏体相转变温度As越低.薄膜的表面有TiO_2氧化层形成,氧化层阻止了Ni原子渗出;膜与基片的界面存在Ti_2O_3和NiO.由于表面和界面氧化层的存在,不同厚度的薄膜内层的厚度也不同,因而薄膜越薄,Ni原子的含量就越高.Ni原子的含量的不同会影响薄膜的相变温度. |
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其他语种文摘
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The effect of thickness on transformation temperature of the NiTi thin films has been studied by X-ray diffraction and X-ray photoelectron spectroscopy.Results show that the crystallization temperature for 3 μm-thick film is higher than that for 18 μm thick film at the same growth temperature and post annealing.With the substrate temperature increasing, the start temperature (At) of austenite phase is lowered after annealing at 763 K for 1 h.There is an oxide layer TiO_2 on the film surface, which prevents the Ni atom from coming onto the surface.There is an oxide layer of a mixture Ti_2O_3 with NiO on the film /substrate interface.The oxide layers affect the transformation temperature by changing the Ni atomic content in the interior of the film. |
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来源
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物理学报
,2009,58(4):2742-2745 【核心库】
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DOI
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10.7498/aps.58.2742
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关键词
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NiTi合金薄膜
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X射线衍射
;
相变
;
X射线光电子能谱
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地址
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1.
哈尔滨工程大学理学院, 水下智能机器人技术国防科技重点实验室, 黑龙江, 哈尔滨, 150001
2.
东北大学材料与冶金学院, 辽宁, 沈阳, 110004
3.
吉林大学材料科学系, 汽车材料教育部重点实验室, 吉林, 长春, 130012
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语种
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中文 |
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文献类型
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研究性论文 |
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ISSN
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1000-3290 |
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学科
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物理学 |
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基金
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哈尔滨工程大学科研启动金
;
中国博士后科学基金
;
黑龙江省博士后科研启动资助金
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文献收藏号
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CSCD:3540652
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参考文献 共
16
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